Производство
ОО «БУТИС» имеет многолетний опыт работы в области производства микроэлектронных изделий. Мы имеем современную производственную базу, которая обеспечивает полный цикл производства и включает следующие производственные участки:
- Производственный участок вакуумного напыления;
- Производственный участок технохимической подготовки пластин;
- Производственный участок фотолитографии;
- Производственный участок дисковой резки пластин;
- Производственный участок сборки и герметизации изделий;
- Производственный участок измерения электрических параметров фильтров, и другие.
Имеющиеся производственные мощности позволяют производить до 250 000 шт. фильтров и ЛЗ на ПАВ в месяц.
Зондовый контроль электрических параметров пьезоэлементов на пластине
Измерения профиля штыревой структуры ВШП ПАВ-фильтров
Проекционная фотолитография: степпер ASML PAS 5500/275Dс возможностью совмещения лицевой и обратной стороны пластин, максимальное разрешение до 300 нм, ООО “МАППЕР”
Растровый электронный микроскоп Zeiss Sigma HD с системой химического анализа поверхности EDAX, ООО “МАППЕР”
Маркировка фильтров лазерная
Резистивная герметизация
Контроль адгезии алюминиевой плёнки и качества микросварки выводов
Контроль герметичности методом гелиевог